在半导体晶圆加工中,利用聚四氟乙烯材质耐腐蚀的特性,在聚四氟乙烯腐蚀槽中加入HF与二氧化硅反应,进行边缘剥离等。聚四氟乙烯槽通过模具一体模压烧结成型,整体没有焊点,所以完全不用担心会有滴漏的风险。在半导体生产中,如果需要对大型的零件进行浸泡清理,就要用到大型的聚四氟乙烯焊接槽,
主要应用为:
1、晶圆清洗槽;
2、温度加热清洗槽;
3、药液储存槽;
聚四氟乙烯一体槽的特点:
1、通过模具模压一体成型,不用担心泄露风险;
2、选用全新无污染的PTFE原材料;
3、可以长期耐受强腐蚀性液体;
4、耐温可达到200℃;
5、可以焊接接头零部件等;
6、排水孔的位置也可以自由设计。